第二阳极作用改善阴极真空弧沉积中弧放电稳定性的研究

摘要

研究了阴极弧等离子体沉积中第二阳极现象改善弧放电稳定性的作用.结果表明:由于弧放电规模增大,等离子体电阻降低,第二阳极现象的存在可大幅度提高造成阴极弧放电不稳定的聚焦磁场阈值.