电镀永磁体方法用于制作振动膜式微驱动器

摘要

阐述了利用电镀制作磁体微结构的方法,采用这一工艺方法制作了一种基于硅橡胶薄膜(PDMS,polydimethyl siloxane)和CoNiMnP永磁体阵列的双向微型电磁驱动器,由振动膜层和线圈层构成.微驱动器中磁体阵列中每一个小磁体块的尺寸为50 μm×50 gm×20μm,其矫顽力、剩磁和最大磁能积分别为2 623 0e(208.73 kA/m)、0.2 T(2000 G)和10.15 kJ/m3.