一种新方法探究杂质掺杂对镀层内应力的影响

摘要

在氨基磺酸盐电镀体系中,采用一种改良的双阳极-阴极弯曲的办法测试镀层内应力;选取生产线上不同循环周期的镀液,通过该方法进行应力测试。采用电感耦合等离子体发射光谱仪进行元素检测。结果表明:无论是新镀液、循环周期15天的镀液还是处理后镀液,镀层均会产生内应力,同时镀液中金属元素杂质以及SO_(4)^(2-)掺杂会显著改变镀层应力大小。相较于传统的阴极弯曲的办法,本方法更容易测量弯曲的垂直距离,计算的结果更为准确。对于在生产实践中快速测量镀层应力具有重要的借鉴意义。