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杨开明; 叶佩青; 游华云; 褚毅成;
清华大学,精密仪器制造工程研究所,北京,100084;
直线电机; 精密工作台; 扰动观测器; 运动控制;
机译:高速X-Y工作台定位机械直线电机直接驱动的鲁棒精密运动控制系统
机译:直线电机驱动工作台系统的扰动观测器和自适应控制器设计
机译:静水轴承支撑的直线电机驱动工作台的开发-测试和评估工作台负载能力和静刚度
机译:在中性Z玻色子峰处的扰动QCD的精密度测试。
机译:不同电离层扰动的远程GPS共视精密时间传输研究
机译:具有输入饱和的全局稳定高性能自适应鲁棒控制算法,用于直线电机驱动系统的精密运动控制
机译:将直线电机滑动连接到精密机床上
机译:直线电机和XY驱动工作台采用直线电机
机译:精密工具机,具有两个可移动地彼此平行布置的工作主轴,其中一个主轴可在大型工件的金属切削加工中布置到整个工作台上方的工作台上
机译:超精密进给设备,使用相同的XY工作台和工作台转移设备
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