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扫描探针针尖与试样间静电力的解析方法

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摘要

针对主体为圆锥、尖端为球冠的扫描探针物理模型,基于针尖与导体平面间电场分布假设,提出计算扫描探针针尖与导体平面间的静电力解析模型.该模型模拟计算结果与采用等效电荷方法数值计算结果相一致.

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来源
《机械科学与技术》 |2005年第12期|1404-1406|共3页
作者
王洪喜; 贾建援; 赵剑;
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作者单位

西安电子科技大学,机电工程学院,西安,710071;

西安电子科技大学,机电工程学院,西安,710071;

西安电子科技大学,机电工程学院,西安,710071;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O339;O444;
关键词
针尖; 静电力; 静电力显微镜;

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