Ansys在PZT压电薄膜微传感器压电分析中的应用

娄利飞; 杨银堂; 张军琴; 李跃进

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Ansys在PZT压电薄膜微传感器压电分析中的应用

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研究的PZT压电薄膜微传感器采用的弹性敏感元件为微悬臂梁结构,在压电原理和材料力学理论的基础上,采用简化的等效微器件结构建立了数学分析模型,将有限元方法发展应用于压电材料的结构分析中,并运用有限元软件Ansys7.0对PZT压电薄膜微悬臂梁结构的传感性能和线性度进行了模拟,同时分析了微悬臂梁结构的几何参数对输出电压的影响,这些分析结果和解析预测是一致的.

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来源
《机械科学与技术》 |2005年第7期|875-878|共4页
作者
娄利飞; 杨银堂; 张军琴; 李跃进;
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作者单位

西安电子科技大学,微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071;

西安电子科技大学,微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071;

西安电子科技大学,微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071;

西安电子科技大学,微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071;

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正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
微传感器; 有限元法; 压电分析;

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