环境气氛对射频溅射镀膜的影响

摘要

综合考虑宏观条件对射频溅射镀膜过程的影响,采用等离子鞘层理论、理想气体理论、蒙特卡罗法,模拟在真空气压、气体流量、电压、温度等等参数综合作用后离子的能量、方向、分布等.相应实验验证结果与模拟结果较为一致,因此,可以认为目前的结论足以作为进一步模拟的条件.