小型高速精密气浮气动主轴的研制

摘要

针对微结构的超精密磨削要求,设计了一种涡轮驱动的小型气浮主轴.采用了涡轮叶片作为动力结构部分,由压力气体驱动,带动主轴高速旋转;同时也采用了空气静压轴承作为支撑;建立了气动涡轮的设计模型,分析了气体静压支承轴承的结构参数,仿真研究了各设计参数对轴承承载力的影响,得出了最佳的设计尺寸和主轴工作参数,对涡轮与转轴组成的整体转子进行了模态分析,计算出了主轴的临界转速,研究了主轴的加工工艺.试验结果表明:该设计合理,达到了设计要求.