碳化硼废液微粉回收制备及再利用于蓝宝石衬底加工之研究

摘要

碳化硼微粉作为蓝宝石衬底研磨工艺中的介质,因其硬度高并可与蓝宝石衬底表面进行磨削,进而修复来自线切痕的损伤以及衬底全区域性的平坦化,故使用量亦蓝宝石衬底需求随之升高。本文简述了对研磨废液中碳化硼微粉的制备及再应用于加工,试验表明研磨后的废液通过物理化学等处理步骤后,可筛分出D50粒径在44~51 µm范围的微粉,并经不同新粉与回收粉比例混合应用于蓝宝石衬底精磨加工。新粉与回收粉搭配3:1作业下Ra分别在1.02 µm与0.99 µm较为相近,以及表面良率分析上回收粉配比在1:3以上与对照组99.66%的差异仅在0.01%~0.04%范围,其结果对于量产上是可被接受,可提供产业一种再利用的方式。