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李亨; 王淞立; 赵虎; 申建武; 黄嘉珊; 张龙;
西安思微传感科技有限公司;
硅谐振压力传感器; 全硅; 热应力; 温度系数; 迟滞; 设计与制备;
机译:DETF石英谐振器与硅膜片结合设计谐振压力传感器
机译:基于硅的单模片上超紧凑型微型磁盘谐振器,具有标准的硅光子铸造工艺
机译:响应面法和中心复合可旋转设计在优化乙烯基三乙氧基硅烷改性硅沸石/聚二甲基硅氧烷杂化全蒸发膜制备条件中的应用
机译:基于硅谐振压力传感器的谐振器制造技术研究
机译:基于0.18μMCMOS工艺的2GHz发射机设计及其线性化,以及基于0.25μM锗硅双极工艺的8 GHz收发器设计(采用GSML方法)。
机译:基于硅纳米线压敏电阻的高信噪比高灵敏度SOI压力传感器的设计优化与制造
机译:基于光子晶体环谐振器的超紧凑聚合物和硅调制器设计;会议文件
机译:同时制备基本氟从全氟硅制备高纯硅粉的方法,从盐熔分离硅的方法,指示方法获得的硅粉和基本氟以及硅四氟的制备方法
机译:制备基于聚硅氧烷的化合物的方法,由此制备的基于聚硅氧烷的化合物,用于该方法的加氢催化剂,一种使用基于聚硅氧烷的化合物制造非晶硅薄膜的方法
机译:基于微环谐振器的全硅拉曼放大器和激光器
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