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任超; 刘峰华; 付博; 康兴国; 丁桂甫; 杨卓青;
上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海200240;
西安机电信息技术研究所 陕西西安710065;
淮海工业集团有限公司MEMS中心 山西长治046012;
MEMS惯性开关; 物理模型; 研究进展; 微加工工艺; 测试方法;
机译:基于直接接触感测方法的低g MEMS惯性开关
机译:具有兼容悬臂固定电极和静电锁定功能的异构集成MEMS惯性开关,可实现稳定的导通状态
机译:双稳态MEMS开关的惯性产生时序的方法
机译:MEMS惯性传感器包装优化的研究进展
机译:液态镓接触RF MEMS开关和VLSI MEMS开关。
机译:阈值对垂直驱动的MEMS惯性开关动态接触过程的影响分析
机译:RF MEMS开关和开关电路:RF MEMS开关的建模以及RF MEMS电容式开关和MEMS可调滤波器的开发
机译:用于开关线移相器的mEms,Ka波段单刀双掷(spDT)开关
机译:MEMS MEMS MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器集成结构
机译:海啸波原理与惯性定律相结合的振动敏感开关
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