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刘笃仁; 徐毓龙;
西安电子科技大学电子工程学院,710071;
西安电子科技大学技术物理学院,710071;
微机电系统技术; 微结构气敏传感器; 硅材料; 聚合物;
机译:MEMS技术制造的工业应用微胶体微胶体的批量费用传感器
机译:纳米结构薄膜沉积技术与基于MEMS的微制造技术的集成:在微型气体传感器中的应用
机译:用于微推进应用的微机电系统(MEMS)热力推进器的点火和燃烧特性
机译:在微机电系统(MEMS)应用中制造多层微线圈的新技术
机译:硅电容微传感器和静电微致动器的研究:朝着微机电系统(MEMS)迈进
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:微纳机电系统(MEMS-NEMS)和传感器
机译:利用微机电系统(mEms)微快门设计进行自适应编码孔径成像(aCaI)技术
机译:使用MEMS(微机电系统)技术制造的流量传感器和使用该传感器的流量计
机译:具有微机电系统(MEMS)技术的微流体通道可嵌入,横向振荡的重力传感器装置
机译:利用微机电系统(mems)技术制造的微流体通道可嵌入,横向振荡重量传感器设备
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