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磁微执行器的原理及应用

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摘要

首先介绍了磁微执行器的驱动原理及其在发展中遇到的问题;然后具体分析了几种代表性的磁微执行器;最后介绍了它们的几个典型应用.

著录项

来源
《测控技术》 |2000年第3期|1-5|共5页
作者
朱珂; 黄庆安; 姚建南;
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作者单位

东南大学微电子中心,南京,210096;

东南大学微电子中心,南京,210096;

东南大学微电子中心,南京,210096;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
磁微执行器; 磁芯; 线圈; 悬臂梁; 磁马达;

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