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开发LSI工业环境的超净化控制系统

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介绍了一种实现大规模集成电路(LSI)无尘生产环境的超净化控制系统,该系统的现场控制回路采用了先进的仿人工智能PID控制算法,这种算法避免了系统反馈滞后的振荡缺陷,利用LonWorks的网络技术,实现整体净化系统的智能化、可视化控制.

著录项

来源
《测控技术》 |2003年第4期|31-33|共3页
作者
孙夫雄; 黄天戍; 孙涛; 庞辉;
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作者单位

武汉大学,电子信息学院,湖北,武汉,430072;

武汉大学,电子信息学院,湖北,武汉,430072;

武汉大学,电子信息学院,湖北,武汉,430072;

武汉大学,电子信息学院,湖北,武汉,430072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动控制、自动控制系统;
关键词
超净化控制系统; 大规模集成电路; 仿人工智能PID控制; LonWork现场总线技术; LonTalk协议;

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