基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计

摘要

基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性、可靠性,易形成批生产能力.本文首先从理论上分析了利用热电原理测量空气绝对湿度的可行性,然后利用有限元分析方法对湿度传感器进行了结构建模,并模拟铂电阻的升温与空气湿度的变化关系曲线.在此分析基础之上,得出测量绝对湿度的方法.