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金钢石薄膜与基材之间过渡层技术的研究

         

摘要

通过TEM观察发现在金刚石膜与单晶硅片、金刚石膜与A1N陶瓷之间存在一层过渡层,过渡层的存在为金刚石的形核及生长提供了有利的条件,受此启发,为了改善金刚石与基材的结合强度,采用磁控溅射、空心离子镀、真空蒸镀等方法在MO片上沉积TiC、TiCN(C/N=1/2)、TiCN(C/N=1/10)等薄膜,研究了它们对金刚石膜与基材的结合强度的影响.

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