双层辉光离子渗镀钽

摘要

介绍了一种新型离子渗镀钽的工艺方法。较好解决了渗镀钽时供给活性钽粒子的总是比方法工艺简单，操作方便，效率高。为充分利用和节约使用昂贵的钽探索了一条实用可行的途径。