铝含量对（Ti,Al）N镀层结构及耐磨性的影响

摘要

运用多弧离子镀在Ｗ６Ｍｏ５Ｃ４Ｖ２高速钢表面沉积了（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ镀层，并经ＳＥＭ，ＸＲＤ和ＥＤＳ等方法分析表明，多靶联合工作获得的（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ镀层，其成分可连续变化，随弧流增大，铝含量增多；随负偏压增大，铝含是降低。弧流与偏压二者对镀层的成分均有影响，其中弧流较为显著。