在粗糙基片上成膜的物理模拟

摘要

用射频溅射法在粗糙基底上制备了ＺｒＯ２膜，模拟了在该种条件下膜的表面形貌空腔的形成规律，提出了在粗糙基底上镀制性能均匀，稳定薄膜的对策。