As＋,B＋离子注入硅的结构和摩擦学性能

摘要

利用ＸＲＤ、ＸＰＳ、ＡＥＳ分析了Ａｓ＾＋、Ｂ＾＋离子注入后的硅的表面成分，结构和化学状态，并通过ＡＦＭ／ＦＦＭ和ＳＲＶ实验测量了Ａｓ＾＋、Ｂ＾＋离子注入硅的微观摩擦和宏观摩擦磨损性能。结果表明，Ａｓ＾＋、Ｂ＋离子注入后，单晶硅表面仍呈晶态，表面粘着力、微观及宏观摩擦系数增大，同时耐磨损能力增强， 观与宏观摩擦在损特性的规律基本一致。