力学薄膜的多层化强化

谢致薇; 王国庆; 蒙继龙

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力学薄膜的多层化强化

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采用多层膜系是进一步提高诸如TiN等力学薄膜性能的有效方法之一.综述了有关方面的研究情况.目前已经投入应用的各种氮化物薄膜是最简单的多层膜的原型,其内设的过渡层可改善膜/基附着力;多层膜性能与组层结构有关,适当的层间厚度(调制周期)可显著提高多层膜的力学性能,适当的亚层组合可获得同时兼具高硬度和良好韧性的力学薄膜.

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来源
《机械工程材料》 |2001年第7期|12-14,33|共4页
作者
谢致薇; 王国庆; 蒙继龙;
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作者单位

华南理工大学机械电子工程系;

广东工业大学材料与能源学院;

广东工业大学轻工化工学院;

华南理工大学机械电子工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属复层保护;
关键词
多层膜; 过渡层; 力学薄膜; 薄膜力学性能;

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