小间距红外探测器读出电路铟凸点制备技术

摘要

介绍了一种用于10μm小间距碲镉汞探测器铟凸点的制备工艺.新工艺有别于常规的剥离法,采用离子刻蚀手段对金属铟进行精确刻蚀,从而制备出高度大于6μm且非均匀性小于 ±5％的10μm小间距红外探测器读出电路铟凸点,解决了传统工艺制备小间距铟凸点时高度不够且差异过大、易相互粘连等问题,大幅度提高了小间距红外探测器在互连工艺段的成功率.