InAs/GaSb二类超晶格材料湿法腐蚀工艺研究

摘要

研究了不同腐蚀溶液体系下铟砷镓锑(InAs/GaSb)二类超晶格材料的湿法腐蚀工艺.根据腐蚀效果选择了由柠檬酸(C6H8O7)、磷酸(H3PO4)、过氧化氢(H2O2)构成的混合腐蚀液.这种腐蚀液对InAs/GaSb材料腐蚀速率稳定,腐蚀后表面光滑,且下切效应小.同时,研究了该成分腐蚀液不同腐蚀液温度、浓度和各成分配比等条件对InAs/GaSb材料腐蚀速率,形貌和钻蚀情况的影响.根据实验结果配制了体积比为1∶1∶1∶40的柠檬酸(50％)∶磷酸(85％)∶过氧化氢(31％)∶水的腐蚀溶液,室温(20℃)下腐蚀速率约为9.48 nm/s.