1.3μm双涂层高功率超辐射发光二极管

摘要

在半导体激光器的输出端面上蒸镀ＳｉＯ／ＳｉＯ２双层减反射涂层，我们制造了１．３μｍ超辐射发光二极管，对其输出特性进行了研究，并估算了涂层的剩余反射率，得到了剩余反射率小于１０＾－３的减反射涂层。