共焦激光扫描显微镜及其应用

摘要

共焦激光扫描显微镜是将激光光学和数字图像处理技术相结合产生一种新型高分辩率的表面检测设备。它能在自然环境下对固体表面进行无损伤检测。其三维图像的横向和纵向分辨率分别可达０．１μｍ和５０ｎｍ。