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光热调制半导体激光波长降低干涉测量误差

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摘要

首次将光源波长的光热调制技术用于正弦相位调制干涉仪中,消除了因直接调制激光波长引起的光强变化对测量的影响,降低了测量误差.

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来源
《激光与红外》 |1999年第6期|375|共1页
作者
王学锋; 王向朝; 钱锋; 陈刚; 陈高庭; 方祖捷;
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作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800;

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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800;

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800;

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正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
半导体激光器; 光热效应; 干涉仪; 光学检测;

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