脉冲激光烧蚀金属Cu产生电子和离子发射研究

摘要

通过对脉冲Nd:YAG激光烧蚀金属Cu过程中的烧蚀靶和收集板上电压信号的时间分辨测量,研究了激光烧蚀金属Cu产生电子和离子发射过程及其受缓冲气压的影响.实验结果表明:在激光烧蚀过程中,烧蚀靶上产生离子和高能电子,高能电子较离子率先从靶面出射;随着烧蚀环境气压的升高,烧蚀靶与收集板上的电荷量迅速减少.