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双频激光干涉仪技术现状与发展

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摘要

文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势.

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来源
《激光与红外》 |2004年第4期|251-253|共3页
作者
所睿; 范志军; 李岩; 张书练;
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作者单位

清华大学,精密仪器与机械学系,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;

清华大学,精密仪器与机械学系,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;

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清华大学,精密仪器与机械学系,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH744.3;
关键词
双频激光干涉仪; 外差干涉; 高分辨率; 高精度; 高测速;

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