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退火对硫化后的P+型InP表面性能的影响

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摘要

文章采用光致发光(PL)测试和X射线光电能谱(XPS)测试相结合的方法,对硫化前后P+型InP的PL光谱以及表面化学成分进行了分析,得到了退火对硫化过的InP表面性能的影响结果;同时得到了S在InP表面所成键的结构以及稳定性随温度的变化的情况.

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来源
《激光与红外》 |2005年第11期|894-896|共3页
作者
庄春泉; 汤英文; 龚海梅;
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作者单位

中科院上海技术物理研究所红外传感技术国家重点实验室,上海,200083;

中科院上海技术物理研究所红外传感技术国家重点实验室,上海,200083;

中科院上海技术物理研究所红外传感技术国家重点实验室,上海,200083;

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正文语种 chi
中图分类表面性质;
关键词
光致发光; X射线光电子能谱; 硫化;

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