AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的设计与表征

姬小利; 江若琏; 李亮; 谢自力; 周建军; 刘斌; 韩平; 张荣; 郑有炓; 龚海梅

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设计了反射中心波长为500nm的Al0.3Ga0.7N/GaN和AlN/GaN两种分布布拉格反射镜(DBR),并采用光学传递矩阵方法对其光谱反射率进行了理论上的模拟.采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了样品.实际测量的样品反射谱中有明显的反射峰,但峰值波长与理论设计有偏差,峰值反射率也比理论设计值偏低.SEM和AFM测量结果表明:这是由生长层厚与设计的偏差和界面不平整引起的.

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来源
《激光与红外》 |2005年第11期|888-890|共3页
作者
姬小利; 江若琏; 李亮; 谢自力; 周建军; 刘斌; 韩平; 张荣; 郑有炓; 龚海梅;
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作者单位

南京大学物理系,江苏省光电功能材料重点实验室,江苏,南京,210093;

南京大学物理系,江苏省光电功能材料重点实验室,江苏,南京,210093;

南京大学物理系,江苏省光电功能材料重点实验室,江苏,南京,210093;

南京大学物理系,江苏省光电功能材料重点实验室,江苏,南京,210093;

南京大学物理系,江苏省光电功能材料重点实验室,江苏,南京,210093;

南京大学物理系,江苏省光电功能材料重点实验室,江苏,南京,210093;

南京大学物理系,江苏省光电功能材料重点实验室,江苏,南京,210093;

南京大学物理系,江苏省光电功能材料重点实验室,江苏,南京,210093;

南京大学物理系,江苏省光电功能材料重点实验室,江苏,南京,210093;

中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;

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正文语种 chi
中图分类 O472.8;TN304.2+3;
关键词
氮化镓; 分布布拉格反射镜; 光学传递矩阵方法;

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