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650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉滤光片

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针对波长为650nm和10.6μm的激光器,选用了ZnS和YbF<,3作为膜料,采用离子辅助沉积技术,在多光谱ZnS基底上制备了650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉滤光片.通过对膜系设计和优化工艺参数的研究,解决了膜层牢固性,改善了薄膜的激光损伤阈值,并给出了综合测试结果和实测光谱曲线.

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来源
《激光与红外》 |2008年第5期|482-484|共3页
作者
邢政; 付秀华; 傅晶晶; 庞薇;
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作者单位

长春理工大学,吉林长春,130022;

长春理工大学,吉林长春,130022;

长春理工大学,吉林长春,130022;

长春理工大学,吉林长春,130022;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类真空镀膜;
关键词
光学薄膜; 硫化锌; 离子辅助; 激光损伤阈值;

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