InSb(111)、(211)及(110)晶面腐蚀极性研究

摘要

极性是InSb晶体结构的一种属性,文中研究了这种极性对InSb晶片湿法腐蚀的影响,并对这种极性产生的原因进行了分析.结果表明,对于工艺中常用的CP4腐蚀液,(111)及(211)晶面腐蚀时表现出极性,(111)A面平均腐蚀速率为2.2 μm/s,(111)B面的平均腐蚀速率为3.6 μm/s;(211)A面的平均腐蚀速率为3 μm/s,(211)B面的平均腐蚀速率为4.8 μm/s;而(110)晶面在腐蚀时未表现出极性效应,只存在一种腐蚀速率为4 μm/s.