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8×8重排无阻塞型SOI热光波导开关阵列

         
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摘要

设计并制作了一种重排无阻塞型的8×8 SOI热光波导开关阵列.开关单元采用了MMI-MZI结构的2×2光开关.整个器件的开关时间约为2μs.器件中开关单元功耗小于240mW.消光比在17-22dB范围内变化.功耗和开关速度都明显优于SiO2基和聚合物基的开关阵列.

著录项

  • 来源
    《激光与红外》 |2009年第1期|46-49|共4页
  • 作者

    陈媛媛; 余金中;

  • 作者单位

    北京工商大学信息工程学院,北京,100037;

    中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京,100083;

    中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京,100083;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 光波导;
  • 关键词

    开关阵列; 热光; SOI;

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