一种检测薄膜晶体管液晶屏的自动对焦方法

摘要

针对大尺寸TFT-LCD(第五代到第八代)生产检测过程中要求成像系统成像速度快、精度高的情况,研究快速的显微镜自动对焦方法.提出一种间接清晰度评价函数和一种用于TFT-LCD玻璃板检测的显微镜自动对焦的方法,采用一个激光器和一个黑白CMOS相机作为辅助手段,通过寻找CMOS相机最大的通光率的值确定CCD相机对焦最好的目标点,在此基础上,通过求取CMOS相机获得图片中的激光光斑质心并查表确定镜头调节的方向和距离.实验结果表明,对于放大倍率为5倍至50倍的物镜,当玻璃板在焦平面上下正负50 μm范围内进行自动对焦时,对焦时间在0.4 s以内,重复对焦精度可达到景深的0.1～0.5倍以内.