等离子体增强热氧化法制备氧化锌纳米棒及其反应机制

摘要

提出一种等离子体热氧化法,即通过自制的等离子体增强水平管式炉沉积系统,将金属锌箔在氧气与氩气混合气体中放电生成氧化锌纳米棒,并考察了反应温度、氩气与氧气的流量比以及放电电流对生成的氧化锌的形貌和微观结构的影响.结果发现:在反应温度为500℃、氩气与氧气流量比(体积比)为9∶1时,有比较均匀、稳定的氧化锌纳米棒的生成;并且随着电流值不断增大,氧化锌纳米棒变长.此外,还提出了在等离子体条件下合成氧化锌纳米棒的生长机制:金属锌在适当的温度条件下加热,形成锌蒸汽并在锌箔表面凝结成金属颗粒;然后在O2-Ar气氛中,在等离子体放电过程中O2能有效地电离为O+、O2+离子,并在氩气辅助下进一步被等离子体转化为活化的氧原子并与锌反应形成氧化锌核,再向富氧的区域延伸,形成氧化锌纳米棒.