变间隙不接触三电极薄膜材料介电参数的测量

摘要

利用自行研制的高精度变间隙不接触三电极系统,研究了在薄膜材料(厚度小于30μm)相对电容率(εr)和介质损耗角正切(tanδ)测量中的相关技术问题,包括试样厚度测量的准确度,薄膜多层总厚度的合理选择,试样与电极间预留空气间隙的大小等.此外,还对两种不接触电极方法(变间隙法和变电容法)作了比较,分析了各自的优缺点及适用范围.研究结果表明,空气介质的变间隙不接触电极方法可成功应用于板材和薄膜试样εr和tanδ的测量,εr的测量值误差可控制在5%以内,tanδ可测到10-5数量级.