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透明导电薄膜(I):掺杂透明导电氧化物薄膜

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摘要

透明导电氧化物薄膜具有良好的光电性能.作为前电极,此类半导体材料薄膜广泛应用于半导体器件.本文以典型的掺杂TCO薄膜为切入点,综述了透明导电氧化物薄膜的发展历史及应用,重点阐述了几种典型掺杂TCO薄膜的结构特征、光电特性、制备方法及应用展望.

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来源
《辽宁科技大学学报》 |2021年第2期|99-106110|共9页
作者
闫彩波; 周艳文; 王鼎;
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作者单位

辽宁科技大学材料与冶金学院辽宁鞍山 114051;

辽宁科技大学材料与冶金学院辽宁鞍山 114051;

辽宁科技大学材料与冶金学院辽宁鞍山 114051;

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正文语种 chi
中图分类材料结构及物理性质;
关键词
透明导电氧化物薄膜; 掺杂; 结构特征; 光电性能; 制备方法;

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