等离子化学气相沉积（PCVD）TiN涂层的组织与性能研究

摘要

本文用透射电镜和x光衍射仪揭示了PCVD法TiN涂层的物相及超细晶粒、位错、择优取向等微观结构，并对该涂层的性能进行了比较试验。