射频微机电系统开关软磁悬臂梁微电镀工艺

摘要

研究了一种电磁型射频(RF)微机电系统(MEMS)开关的软磁悬臂梁的制备工艺.为了得到适合MEMS器件应用的镍铁合金磁性薄膜,展开微电镀工艺分析,采用振动样品磁强计测量镍铁合金薄膜的磁参量.实验结果:最大相对磁导率约为460,薄膜矫顽力约为490 A/m,饱和磁感应强度约为0.9 T,剩磁感应强度为0.03～0.06 T.此结果为开关结构设计优化提供了依据.