XPS中原子灵敏度因子定标方法

摘要

提出通过ＸＰＳ谱仪探测效率的测定及光电截面和电子平均自由程的计算来推求原子灵敏度因子表的方法，该方法无需对全部元素的ＸＰＳ谱进行实测，是一种简便的用于定量分析的原子灵敏度因子定标方法．依此方法对ＮＰ－１Ａ型ＸＰＳ谱仪进行了定标，并得到了可用于定量分析的有实用价值的结果．通过对美国ＰＨＩ－５５０谱仪的经验原子灵敏度因子表的分析发现，若已知两台谱仪的相对探测效率，则可由一台谱仪的原子灵敏度因子表导出另一台谱仪的原子灵敏度因子表．