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吕少波; 蔺增; 巴德纯; 李麟涉;
东北大学机械工程与自动化学院;
辽宁沈阳110004;
延世大学物理及应用物理系原子级表面科学中心;
韩国首尔120-752;
射频等离子体; 直流负偏压; 无碰撞; 鞘层; 流体动力学模型;
机译:具有负偏压分离栅和磁滤场的双等离子体装置的鞘层特性研究
机译:带有圆柱孔的射频供电电极碰撞等离子体鞘层的二维流体模拟
机译:具有阴极斑点的真空电弧中负偏压基板的鞘层模型
机译:等离子体鞘层在总的非双极射频产生的等离子体电子源中的行为。
机译:复杂流体中柔性无偏压的石墨烯微电极的pH感测特性:从磷酸盐缓冲液到人血清
机译:非线性射频波:磁化等离子体边缘中的鞘层相互作用:快波的作用
机译:具有负偏压电动力系的等离子体相互作用
机译:射频偏压引起的微波等离子体鞘层和体积的膨胀方法
机译:双射频扩展等离子体鞘层和团块的方法
机译:涂覆基板包括:产生带有带正电离子的等离子体,该等离子体通过负偏压在基板上加速,以及通过向基板照射电子来减少和/或补偿基板的正负载。
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