微型溅射离子泵的阳极筒长度对抽气特性的影响

摘要

基于粒子云网格法与蒙特卡罗法,使用VSim软件对微型溅射离子泵内部潘宁放电的工作过程进行了分析.建立了二维仿真模型并得到了氮气离子入射阴极板时的入射能量、入射角度和入射位置等参数.将非垂直溅射产额理论与仿真得到的结果相结合,分析了阴极板上溅射产额的分布规律.根据离子入射参数与溅射产额,计算得到了微型溅射离子泵对氮气的抽速.计算值与实验结果一致性好并且该方法可以给出溅射离子泵抽速阈值对应的压力.仿真结果中增加阳极筒长度可以降低微型溅射离子泵抽速阈值对应的压力,并通过实验证明.