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超硬膜的研究进展

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摘要

本文简要总结了近年来超硬膜研究领域中的一些最新进展，包括超硬膜硬度的理论研究和轻元素组成的超硬膜、纳米复合膜、纳米多层膜以及它们力学性能增强效应的理论解释．对超硬膜以后的发展趋势提出了自己的一些见解．

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来源
《无机材料学报》 |1999年第5期|705-710|共6页
作者
肖兴成; 江伟辉; 宋力昕; 胡行方;
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作者单位

中国科学院上海硅酸盐研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;薄膜中的力学效应;
关键词
超硬膜; 硬度; 力学性能; 增强效应; 薄膜;

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