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周凯月; 李佳; 王玮冰; 陈大鹏;
中国科学院大学 北京100049;
中国科学院 微电子研究所 北京100029;
微机电系统; 加速度计; 自校准; LM算法; 十二面体法; 椭球拟合法;
机译:带有MEMS加速度计,读出电路和微处理器的二维位置检测系统,用于无垫鼠标应用
机译:边缘对MEMS电容式加速度计自校准影响的研究
机译:自校准MEMS加速度计的研究
机译:带有MEMS加速度计的二维位置检测系统,用于鼠标应用
机译:具有梳齿驱动器的微机电系统(MEMS)的自校准:弯曲宽度,间隙,位移,力和刚度的测量。
机译:使用ASIC工艺实现CMOS / MEMS加速度计
机译:带有MEMS加速度计的二维位置检测系统,适用于鼠标应用
机译:用三自由度mEms加速度计实现和评估INs系统
机译:考虑系统参数不确定性的MEMS加速度计的设计方法及MEMS加速度计的设计方法
机译:考虑系统参数不确定性的MEMS加速度计设计方法及MEMS加速度计设计方法
机译:MEMS麦克风和用于MEMS麦克风的自校准的方法
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