大口径（φ125mm）紫外（248nm）介质膜镀制

摘要

报导了用ＤＭＤ－４５０机镀制大口径（φ１２５ｍｍ）紫外（２４８ｎｍ）均匀高反膜及增透膜，工装简单实用，解决了大口径基片的放置，用可见光监控紫外涂镀及膜片均匀性三个问题，摸索了氧化铪膜料蒸发工艺。结果达到激光器要求。