硅微机械加工的削角补偿技术

摘要

通过分析硅的结晶学特性及实验考察硅各向异性腐的择估腐蚀面和削角线，研究了尖角与玟角的掩模补偿方案，提取了削角因子，并且给出了针对于特定腐蚀深度的最佳补偿图形及设计参数。研究结果表明该方法可对硅微机械加工中凸角腐蚀的削角部分进行全面补偿。