基于规则的仿人智能控制在微驱动系统中的应用

摘要

根据三角形放大原理设计出一种以压电陶瓷为驱动元件，应变片为微位移传感元件的精密微位移机构。由于压电陶瓷存在迟滞，蠕变和非线性不足，并且难于得到其准确的数学模型，采用常规线性ＰＩＤ控制方法很难实现微驱动机构的高速度精度控制。