微细电火花机床及其关键技术研究

摘要

为了将电火花加工技术应用到微机械制造中,分析了微细电火花加工中的关键技术,开发了微细电火花加工机床.该机床由精密进给装置、主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工电源、花岗石工作台、伺服控制系统等构成.该机床具有三轴联动数控功能,各轴的进给分辨率均为0.1 μm.主轴的回转跳动＜1 μm,转速为1 000～25 000 r/min,可以连续变速.该机床小到可以放在一张桌面上.在这台机床上进行了初步工艺实验,稳定地加工出了直径＜15 μm的微细轴和25 μm的微细孔,还加工出了微三维结构.