Ar/Ne, He/Ne, Ne/N2,O2混合气体直流放电及PIC模拟分析

摘要

通过对混合气体氩和氖(Ar/Ne),氦和氖(He/Ne)以及氖和氮、氧气(Ne/N2,O2)直流辉光放电分析,结合等离子体粒子模拟实验(PIC),模拟分析了Ar/Ne、He/Ne、Ne/N2,O2在直流高压500V～1000V,低气压0.5Torr～1Torr,几种混合气体的直流辉光放电过程.通过模拟实验分析和阐述了混合气体电离后各种离子、电子、二次电子的动能、密度、相空间以及空间和能量分布.分析这些物理参量,能合理地解释按一定比例混合气体氩、氖、氦、氮气、氧气的直流辉光放电现象,在一定程度上,为各种填充气体的霓虹灯工艺提供了一定的理论参考.