VS型垂直摆倾斜仪电容测微传感器摆动误差分析

摘要

根据高斯定理分析并推导出非平行平板电容器的电容计算公式,并将其结果用于分析VS型垂直摆倾斜仪的三片式差动电容特性,得出了垂直摆在摆动情况下倾斜角与输出电压非线性关系的表达式.按仪器的结构参数计算了非线性误差的大小,以及线性化近似处理的范围.结果说明倾斜仪输出特性线性化处理合理可行.最后介绍了一种电容传感器装配的妥善方法和允许的装配误差.